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产品简介
高性能中档行程线性平移台
产品介绍:
ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台,采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件,适用于高占空比的应用。
刚性,FEM 优化的挤压铝制机身,可防止热弯曲效应
预加载,无间隙滚珠丝杠传动可实现快速移动,步进时间和稳定时间较短
精密循环滚珠轴承滑块可实现精确的线性运动,防止出现滚珠轴承罩移位
50-250mm 的行程
轻工业应用中长期使用的理想选择
即插即用 - ESP 兼容
技术参数:
型号 | ILS50CC | ILS150CC |
---|---|---|
行程范围 | 50 mm | 150 mm |
* da速度 1 | 100 mm/s | 100 mm/s |
*小位移增量 | 1000 nm | 1000 nm |
中心负载 | 250 N | 250 N |
轴向负载 (+Cx) | 40 N | 40 N |
逆轴向负载 (-Cx) | -40 N | -40 N |
精度,典型值 | ±0.6 μm | ±1.5 μm |
精度,保证值 | ±1.5 μm | ±2.5 μm |
单向重复精度,典型值 | ±0.20 μm | ±0.25 μm |
单向重复精度,保证值 | ±0.50 μm | ±0.50 μm |
双向重复精度,典型值 | ±0.40 μm | ±0.45 μm |
双向重复精度,保证值 | ±1.0 μm | ±1.0 μm |
俯仰,典型值 | ±15 μrad | ±37 μrad |
俯仰,保证值 | ±25 μrad | ±75 μrad |
俯仰顺应性 | 10 μrad/Nm | 10 μrad/Nm |
偏摆,典型值 | ±12 μrad | ±20 μrad |
偏摆,保证值 | ±25 μrad | ±65 μrad |
偏摆顺应性 | 10 μrad/Nm | 10 μrad/Nm |
滚转顺应性 | 15 μrad/Nm | 15 μrad/Nm |
原点重复精度 | ±0.5 μm | ±0.5 μm |
电缆长度 | 3 m | 3 m |
螺纹类型 2 | 1/4-20 | 1/4-20 |
重量 | 4.2 kg | 4.8 kg |
MTBF | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) | 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) |
RoHS | Compliant | Compliant |
Notes:
Also available in ILS-CCL versions.
Max speed is reduced to 50mm/sec for ILS-CCL versions
Also available in a metric M- version.
产品特征:
FEM - 优化的铝制机身
优化的铝制机身可实现极高的刚性,以及在不影响重量的情况下*小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。
集成编码器
4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上,这样可防止出现螺杆/电机耦合误差,从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。
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